粘在集成電路上的灰塵可能會導(dǎo)致斷路和短路，灰塵直接影響產(chǎn)品的成品率。如今，半導(dǎo)體工業(yè)（芯片廠）對生產(chǎn)環(huán)境的空氣清潔度非常挑剔，對空氣過濾器的要求也最高。芯片集成度的指標之一是線寬，即線路上的線寬。在微米計算線寬的時代，人們說制造環(huán)境對灰塵粒徑的限制小于線寬的1/10。隨著線寬的不斷縮小，1/10的意思變成了1/4和1/2。2002年，普通微機P4處理器的線寬縮小到0.13毫米。此時，任何灰塵都可能損壞電路，傳統(tǒng)的粒徑和線寬比較已經(jīng)過時。
 

傳統(tǒng)的芯片廠通風(fēng)形式是大循環(huán)，整個車間的天花板都布滿了高效率的過濾器，整個地面都是回風(fēng)柵板。目前，一些芯片廠使用自帶風(fēng)扇的過濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU可以達到足夠的清潔度，但運行管理和能耗不同。無論是普通高效過濾器還是FFU，出廠前都要逐一掃描測試。目前國內(nèi)沒有掃描測試方法標準，能擠進芯片廠的過濾器廠家按照歐美標準掃描測試過濾器。芯片廠的人認為，傳統(tǒng)檢測方法中使用的測試灰塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的賬?？諝庵械柠}粒是所有電子工業(yè)的敵人，但空氣中的鹽粒比較大，普通過濾器可以過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想場所應(yīng)該遠離海岸，可以沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達。芯片廠建在過濾器上花了很多錢。
 

20世紀90年代初，國外就高效過濾器玻璃纖維濾紙的含硼問題爭吵了一段時間。后來，過濾器的微量揮發(fā)元素成為芯片廠關(guān)注的焦點。近年來，聚四氟乙烯纖維高效過濾材料出現(xiàn)在國外。這種材料沒有揮發(fā)性物質(zhì)，但它是帶靜電的駐極體，減少了隱患，增加了麻煩。過濾后的空氣應(yīng)通過電中和去除空氣中的離子。目前，這種材料的價格很高，大多數(shù)過濾器仍然使用玻璃纖維濾紙。過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來自粘合劑和清洗劑，為芯片廠供應(yīng)的過濾器制造商應(yīng)該在這上下功夫。
 

今天的過濾技術(shù)可以把潔凈室的粉塵濃度降到幾乎為零，你可以做到更干凈。當(dāng)芯片上的線寬小于0.5毫米時，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物已經(jīng)成為影響成品率的主要危害。因此，化學(xué)過濾器一般配置在線寬度小于0.5毫米的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中?；瘜W(xué)過濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜，即活性炭過濾器，但傳統(tǒng)的活性炭過濾器制造商和軍事工廠沒有搭上芯片廠的班車，芯片廠的化學(xué)過濾器大多由空調(diào)過濾器制造商提供。
 

化學(xué)物質(zhì)的來源可能是：室外空氣，工藝本身，人，裝修材料。大多數(shù)情況下，設(shè)計師和現(xiàn)場工作人員也無法區(qū)分污染物的種類和濃度，因此，提供給他們的化學(xué)過濾器至少應(yīng)該具備兩個特點：廣譜吸附性，充足的活性炭材料。所謂廣譜吸附，就是對任何東西都能吸附多少，具有這一功能的是最普通、最便宜的顆粒活性炭。若能確定污染物的種類，則可對活性炭材料進行有針對性的化學(xué)處理，以提高其吸附能力。
 

過濾器供應(yīng)商有時需要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù)，幫助用戶確定化學(xué)過濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有從事化學(xué)過濾的專家，與知名化學(xué)實驗室密切相關(guān)?？上鴥?nèi)過濾器廠家很少在那里下功夫，所以國內(nèi)芯片廠目前使用的大部分化學(xué)過濾器都是進口產(chǎn)品。半導(dǎo)體行業(yè)不是人們普遍認為的無煙行業(yè)，也有環(huán)境問題。那里經(jīng)常使用最新的工藝和材料，有些化學(xué)品在其安全性評估前已經(jīng)大量使用，一不小心就會造成嚴重的化學(xué)污染。既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就為此付出了驚人的代價。
 

為了保險，一些企業(yè)也在排氣系統(tǒng)中使用化學(xué)過濾器。中國正處于新一輪芯片廠建設(shè)的熱潮中。因此，未來幾年，中國需要數(shù)億元的高效過濾器和化學(xué)過濾器。如果國內(nèi)過濾器商家像以前一樣只熱衷于抄襲、猜疑、在各地忙碌，不在技術(shù)上進取，不互相交流，芯片廠這個難得的市場將屬于外國人。